事實上，真空泵的防腐技術可分為襯里與涂層、超合金與復合材料等幾大分類。
1、真空泵的襯里、涂層和電鍍工藝特點：
襯里、涂層和電鍍技術的主要思想就像鐵人一樣。低血容量的身體裝備了一層耐腐蝕的盔甲。陶瓷襯里、涂層和哈氏合金滲層廣泛應用于液環泵、螺桿泵、往復泵和羅茨泵。襯、涂、鍍技術經歷了百家爭鳴的階段。最后，實踐證明，這種裝甲型防腐技術確實可行，但也存在一定的局限性，即防護期短，腐蝕安全裕度有限。有客戶反映保護層半年后就會消耗掉，需要回廠重新做襯里。但有些客戶需要保持生產的連續性和穩定性，仍希望耐腐蝕壽命能更長。
2、合金真空泵的技術特點
超合金耐腐蝕技術主要采用鈦合金、哈氏合金和雙相鋼制造超合金真空泵，廣泛應用于液環泵、螺桿泵和羅茨泵。它的特點是耐腐蝕安全裕度高，從里到外都是耐腐蝕的高溫合金，相當于變壓器，從里到外都是真金白銀，所以，它是獻給土豪的！
因為即使是高溫合金也有自己的弱點，我們引用了論壇的一段話
鈦材具有耐腐蝕性強、化學性能穩定、幾乎不與任何物質發生反應、機械性能優異等優點，廣泛應用于氯堿、氯酸鹽、鹽酸等車間部門。
但不能用在干氯中。在干燥的條件下，即使低溫低于0℃，鈦金屬也會發生劇烈的化學反應，分解成二氯化鈦，反應劇烈時鈦金屬會燃燒。氯堿部曾發生換熱器管子燒壞的事故。
更奇妙的是，當中的含水量大于0.5％時，二者完全不發生反應，鈦材相當穩定，這也是鈦材在氯堿、氯酸鹽、鹽酸等部門得到廣泛應用的原因。
而鈦材重量輕、強度高，使用鈦材的設備壁厚通常比鋼、不銹鋼等材料小得多，在航空航天中也得到廣泛應用。
雙相鋼作為一種新型的含特殊添加劑的合金，其成本與超合金中的人們非常接近。近年來，它已經在很多廠家得到應用，目前正在等待市場的反饋。
3、真空泵的復合材料特性：
復合材料的耐酸性具有固有的優點，因為它不受化學腐蝕和電化學腐蝕的困擾。它通常不與酸反應，但不耐堿。一些復合材料會被有機溶劑溶解，產生膨脹、收縮、失重、增重或強度損失。因此，復合材料的選擇比較嚴格。
